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膜材料の化学的機能（生体適合性，熱電特性，耐食性，触媒活性等）は，内部の組成，結晶構造，結晶性，粒界構造，欠陥などに強く依存している。従つて，組成・構造・配列などを高度に制御した無機系の膜を作製するためには，生成過程を原子・分子レベルで制御することが重要である。 当所では，原子・分子レベルで反応制御が可能な新しい種々の気相反応場を創出し，これらを利用して高度の化学的機能を有する無機系膜の創製に関する研究を行つている。具体的には，高周波熱プラズマ溶射法を開発し，これを用いて，人工関節や人工歯根等として応用可能な水酸アパタイト膜の作製に関する研究を行つている。高純度でかつ，配向性や結晶性，更には組成を高度に制御したアパタイト膜の作製が期待できる。 また，反応性スパッタ法，レーザCＶD法あるいは熱CＶD法により，ナノオーダレベルで結晶構造や組成を制御して，新しい熱電機能や触媒機能などを有する材料の創製に関する研究も精力的に行つている。
 高周波熱プラズマ溶射法 |